로터리 베인 진공 펌프의 구조 설명

로터리 베인 진공 펌프는 포지티브 변위 펌프로, 로터리 베인을 사용하여 펌프 챔버에서 지속적으로 작동하여 가스를 흡입 및 압축하고 최종적으로 배기구를 통해 배출합니다. 펌프는 주로 고정자, 회전자, 로터리 베인 등으로 구성되며 회전자는 고정자 공동에 편심되어 있습니다. 로터 홈에는 2개의 로터리 베인이 있고, 2개의 로터리 베인 사이에 로터리 베인 스프링이 위치합니다. 고정자의 흡기 및 배기 포트는 로터와 로터리 베인에 의해 두 부분으로 분리됩니다.

로터가 스테이터 캐비티에서 회전할 때 로터리 베인의 끝단은 스프링 장력과 자체 원심력의 결합 작용으로 펌프 캐비티의 내벽에 대해 미끄러지며 공기 측면의 캐비티 부피를 주기적으로 팽창시킵니다. 입구는 가스를 흡입하고 동시에 배기 포트의 부피는 점차 감소하고 흡입 가스는 압축된 다음 배기 포트에서 배출되어 펌핑의 목적을 달성합니다.