로터리 베인 진공 펌프의 작동 원리

로터리 베인 진공 펌프는 대부분 중소형 진공 펌프입니다. 로터리 베인 진공 펌프에는 1단 로터리 베인 진공 펌프와 2단 진공 펌프의 두 가지 유형이 있습니다. 소위 2단 로터리 베인 진공 펌프는 2개의 1단 펌프를 구조적으로 직렬로 연결하는 것입니다. 일반적으로 더 높은 진공도를 얻기 위해 2단계로 만든다.

로터리 베인 진공 펌프의 펌핑 속도와 입구 압력 사이의 관계는 다음과 같이 규정됩니다: 입구 압력이 1333Pa, 1.33Pa 및 1.33×10-1(Pa)일 때 펌핑 속도 값은 더 낮지 않아야 합니다. 펌프 공칭 펌핑 속도의 95%보다 , 50퍼센트 및 20퍼센트.

2단 펌프 직렬로 연결된 2개의 1단 펌프로 구성됩니다. 작동 시 펌핑된 가스는 먼저 흡입 실린더를 통해 고진공 단계로 들어갑니다. 흡입된 가스의 압력이 높을 때 가스의 일부는 배기 밸브(2)에 의해 배출되고 다른 일부는 배기 밸브(1)에 의해 저진공 단계를 통해 배출된다. 흡입된 기체의 압력이 낮을 때는 고진공 단계에서 압축되더라도 배기 밸브(2)를 열어 배기할 수 없으며 저진공 단계를 통해서만 계속 압축할 수 있다. 배기 밸브 1, 2단 펌프의 한계 진공 비율 때문에. 단일 단계 펌프 높이.